CREEM2020

CREEM2020

ANÁLISE DE SENSIBILIDADE DA GEOMETRIA DA ENTRADA DE AR DE UMA CÂMARA LIMPA.

Submission Author: Antônio Correa , RJ
Co-Authors: Antônio Correa, Daduí Cordeiro Guerrieri, JEZIEL NUNES
Presenter: Antônio Correa

doi://10.26678/ABCM.CREEM2020.CRE2020-0210

 

Abstract

O desafio de realizar estudos com microdispositivos vem do elevado grau de limpeza demandado do ambiente onde o estudo é realizado. Para superar tal desafio, o grupo de pesquisa em Ciências Térmicas em Micro e Macro Escalado CEFET/RJ iniciou o desenvolvimento de uma câmara limpa para trabalhar com microdispositivos. Para que o sistema de filtragem do ar da câmara seja eficiente é necessário que o mesmo apresente um fluxo de ar que percorra toda a câmara limpa, gerando o mínimo possível de recirculação, removendo os contaminantes presentes no ar. A câmara deve apresentar um grau de limpeza classe 100 (ISO5) de acordo com a norma ABNT NBR 14644-1. Este estudo tem como objetivo analisar a sensibilidade do fluxo de ar em função da grade utilizada para separar de forma homogênea o fluxo de ar no interior da câmara, visando reduzir os pontos de recirculação do ar e uma melhor remoção dos contaminantes do interior da câmara limpa. Para o desenvolvimento do estudo foi utilizado o software CONTAM 3.2 e o softwareCFD-0, observando diferentes geometrias da grade. Os resultados deste trabalho fornecem informações sobre diferentes formatos da grade, possibilitando avaliar o melhor posicionamento e as melhores dimensões dos furos da grade dentre as geometrias estudadas

Keywords

Câmara limpa, Sala Limpa, Microdispositivos, distribuição de particulas

 

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